MEMS产品

原位芯片自研、自产的氮化硅薄膜窗口，打破海外垄断，成熟应用于同步辐射光源、TEM、SEM等多场景科学研究。

原位芯片拥有超10年MEMS经验的工艺团队，提供定制化特殊工艺开发、小批量产等微纳流片代工服务。

可对微小流量进行7天实时监测，精度高达±5%，满足尿液、体液、药液等微流量的智能设备需求。

医用非接触式次抛贴敷微泵模组，实现0.01U微丸剂量的药物泵送，准确性高达±4%，工作压强高达16psi，具有堵塞报警功能。